Kif Tegħleb Ir-Rata ta 'Utilizzazzjoni Baxxa Ta' Magnetron Sputtering Target

- Jul 18, 2017 -

Kif tegħleb ir-rata baxxa ta 'utilizzazzjoni tal-mira ta' mannun sputtering

Il-mira rotattiva hija użata ħafna fiċ-ċelloli solari, il-ħġieġ arkitettoniku, il-ħġieġ tal-karozzi, is-semikondutturi, it-televiżjonijiet tal-panewijiet ċatti u industriji oħra.

Il-mira ta 'rotazzjoni ċilindrika għandha qawwa tal-kamp manjetiku għoli, effiċjenza għolja tal-mira tal-mira, rata għolja ta' depożizzjoni tal-film, mira ta 'delużjoni u saff tal-film uniformi jistgħu jiġu ddepożitati fuq substrata pjanta ta' żona kbira fuq iż-żewġ naħat tal-mira. Fl-istess ħin permezz tal-mekkaniżmu ta 'rotazzjoni biex titjieb l-utilizzazzjoni tal-mira. It-tkessiħ fil-mira huwa suffiċjenti, il-wiċċ immirat jista 'jiflaħ taħwid ta' qawwa ogħla. Li tgħaqqadha ma 'teknoloġija ta' l-isprepar ta 'mannana bi frekwenza ta' frekwenza intermedja tista 'ttejjeb b'mod sinifikanti l-effiċjenza tal-produzzjoni filwaqt li tnaqqas l-ispejjeż tal-produzzjoni

Magnetron sputtering għandu bosta vantaġġi, iżda wkoll l-eżistenza ta 'rata ta' depożizzjoni baxxa u l-inċiżjoni tal-wiċċ immirat mhux uniformi, l-użu baxx tad-difetti fil-mira. Bħalma huwa l-użu fil-mira ta 'mira ċatta ġeneralment huwa biss madwar 20% sa 30%, il-mira tal-ispirtu li tirriżulta fl-effiċjenza ta' l-ispusting tagħha hija relattivament baxxa. Għal xi metalli prezzjużi bħad-deheb, il-fidda, il-platinum u xi miri ta 'liga ta' purità għolja, bħall-preparazzjoni ta 'film ITO, film elettromanjetiku, film superkonduttiv, film dielettriku u saffi oħra ta' metalli prezzjużi, L-użu fil-mira huwa baxx, id-depożizzjoni tal-film irqiq mhix uniformi u nuqqasijiet oħra huma importanti ħafna.

L-eterogeneità tal-gravimetrija mmirata ta 'manjetra rettangolari li tinxtorob hija prinċipalment riflessa f'żewġ aspetti, minn naħa waħda hija l-wisa' tal-wisa 'mmirata tal-inċiżjoni irregolari, fuq in-naħa l-oħra. Il-binarji jingħalqu u l-fenomenu ta 'l-inċiżjoni anomali huwa suxxettibbli li jseħħ fil-pożizzjoni dijagonali tat-tarf immirat, u l-inċiżjoni fil-ġonta bejn it-tarf immirat u d-dritta hija anormali u l-inċiżjoni fiż-żona tan-nofs hija baxxa u l-inċiżjoni Partijiet severi Huma dejjem djagonali, għalhekk il-fenomenu huwa magħruf ukoll bħala l-effett finali jew l-effett djagonali. L-effett aħħari tal-mira jnaqqas ħafna l-uniformità tal-fond tal-kanal ta 'l-inċiżjoni, u l-mira ċilindrika li ddur tista' ssolvi dawn il-problemi tajjeb ħafna u għalhekk għandha rata ta 'utilizzazzjoni ogħla.